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太赫茲技術(shù)簡(jiǎn)介

  太赫茲是一種新的、有很多獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)的輻射源;太赫茲技術(shù)是一個(gè)非常重要的交叉前沿領(lǐng)域,給技術(shù)創(chuàng)新、國(guó)民經(jīng)濟(jì)發(fā)展和國(guó)家安全提供了一個(gè)非常誘人的機(jī)遇。它之所以能夠引起人們廣泛的關(guān)注、有如此之多的應(yīng)用,首先是因?yàn)槲镔|(zhì)的太赫茲光譜(包括透射譜和反射譜)包含著非常豐富的物理和化學(xué)信息,所以研究物質(zhì)在該波段的光譜對(duì)于物質(zhì)結(jié)構(gòu)的探索具有重要意義;其次是因?yàn)樘掌澝}沖光源與傳統(tǒng)光源相比具有很多獨(dú)特的性質(zhì)。

  太赫茲(THz)輻射介于微波和紅外之間,與微波、X射線(xiàn)、核磁共振(NMR)成像相比,太赫茲成像不僅能給出物體的密度信息,而且能給出頻率域的信息,以及在光頻、微波和X射線(xiàn)范圍內(nèi)所不能給出的材料的轉(zhuǎn)動(dòng)、振動(dòng)信息.太赫茲射線(xiàn)與其他頻段的電磁波相比,它能量低,不會(huì)造成對(duì)生物樣品的電離損傷,而且太赫茲射線(xiàn)很容易穿過(guò)介電材料,因而可以用于產(chǎn)品的安全監(jiān)測(cè).因此太赫茲成像技術(shù)在生物學(xué)、工業(yè)安全監(jiān)測(cè)等方面有可能帶來(lái)新的關(guān)鍵性的突破。

  紅外、毫米波與太赫茲都是電磁波譜的一部分。紅外波長(zhǎng)范圍從0.75至1000微米,頻率范圍為400至0.3THz;毫米波波長(zhǎng)范圍為1~100毫米,頻率為30~300GHz,即0.03~0.3THz;太赫茲,是指頻率在0.1-10THz范圍內(nèi)的電磁波。它在長(zhǎng)波段與毫米波重合,而在短波段與紅外線(xiàn)重合。

  在這三個(gè)波段內(nèi),電磁波輻射包括相干輻射的產(chǎn)生、傳播和接收構(gòu)成了內(nèi)容十分豐富,用途特別廣泛的研究領(lǐng)域。對(duì)于紅外、毫米波的研究已經(jīng)有相當(dāng)?shù)臍v史,并且與航空、航天、遙感、遙控、預(yù)警、監(jiān)測(cè)等一系列關(guān)系國(guó)計(jì)民生的重大技術(shù)應(yīng)用緊密關(guān)聯(lián)。而由于缺乏有效的產(chǎn)生與檢測(cè)方法,國(guó)際上對(duì)太赫茲的研究?jī)H僅只有20多年的歷史,人們對(duì)該波段電磁輻射性質(zhì)的了解非常有限,以致于該波段被稱(chēng)為電磁波譜中的太赫茲空隙。

  科學(xué)家們已經(jīng)達(dá)成共識(shí):太赫茲是一種新的、有很多獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)的輻射源,同時(shí)又是一個(gè)重要的交叉前沿領(lǐng)域。雖然目前利用太赫茲開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品非常有限,但可以預(yù)計(jì)的是未來(lái)各國(guó)將會(huì)投入龐大資源去開(kāi)發(fā)太赫茲技術(shù)。

太赫茲技術(shù)的美好前景

  太赫茲的應(yīng)用前景廣闊,將對(duì)多個(gè)領(lǐng)域帶來(lái)革命性變化。目前,已經(jīng)投入實(shí)驗(yàn)性使用的是代替X光安全檢測(cè)。據(jù)中科院上海技術(shù)物理研究所陸衛(wèi)研究員介紹,相對(duì)于紅外而言,太赫茲的波長(zhǎng)更長(zhǎng),對(duì)物體的滲透性也更強(qiáng)。2003年美國(guó)哥倫比亞號(hào)航天飛機(jī)失事后,科學(xué)家從美國(guó)航天局提供的一塊材料著手,利用太赫茲作了檢測(cè)。材料里有90多個(gè)缺陷是對(duì)安全有害的,他們檢測(cè)出了其中的大部分,漏檢率只有百分之幾,超過(guò)了其他檢測(cè)方法。在美國(guó)的一些機(jī)場(chǎng)已經(jīng)使用了太赫茲安全檢測(cè),不僅僅是從形態(tài)上,更是從化學(xué)組成上準(zhǔn)確分辨爆炸物。

  同時(shí),可以“看”到太赫茲的射電望遠(yuǎn)鏡也已經(jīng)在我國(guó)使用。沈?qū)W礎(chǔ)院士說(shuō),肉眼只能觀察到發(fā)射450-750納米波長(zhǎng)可見(jiàn)光的天體,但這類(lèi)天體只占總數(shù)的很小一部分,其他的天體也是在發(fā)光發(fā)熱,但卻是肉眼看不到的紅外、太赫茲和毫米波。寬波段的射電望遠(yuǎn)鏡則能幫助科學(xué)家們觀測(cè)到這些不可見(jiàn)光,從而了解更多天體信息。

  太赫茲另一個(gè)可能的用處是參與國(guó)際核聚變反應(yīng)堆計(jì)劃。沈?qū)W礎(chǔ)院士告訴記者,從單個(gè)光子看,太赫茲的能量低,只有可見(jiàn)光的數(shù)百分之一。但一旦將太赫茲聚集起來(lái),形成一個(gè)高能集束,由此放射出的一個(gè)脈沖能量可達(dá)幾百兆瓦,可以為核聚變反應(yīng)堆加熱。建造一個(gè)高效、穩(wěn)定、大功率的太赫茲發(fā)生器是科學(xué)家們研究重點(diǎn)之一。



太赫茲實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及其組件介紹


1. 特征
基于半導(dǎo)體的太赫茲發(fā)射源和探測(cè)器
光譜范圍0.1-3 THz
亞皮秒的時(shí)間分辨率
用電腦控制并完成數(shù)據(jù)分析

2. 介紹
太赫茲和亞太赫茲的頻段(100GHz-10THz)正好填補(bǔ)現(xiàn)有物理學(xué)電磁波譜中毫米波和紅外線(xiàn)波段之間的這一段空白。被科學(xué)界戲稱(chēng)為太赫茲“空隙”的這段光譜是非常有吸引力的,因?yàn)橐呀?jīng)發(fā)現(xiàn)許多潛在的應(yīng)用,除了我們下面將提到的三大主流研究方向外,在特殊物體成像、生物檢測(cè)以及先進(jìn)通信系統(tǒng)等方面同樣具有十分廣闊的應(yīng)用前景。

3. 太赫茲時(shí)域光譜分析(THz—TDS)

太赫茲時(shí)域光譜裝置

典型的THz時(shí)域光譜學(xué)系統(tǒng)如圖1。用亞皮秒的太赫茲脈沖透過(guò)樣品,再經(jīng)一段對(duì)稱(chēng)的自由空間后由探測(cè)器接收,測(cè)量由此產(chǎn)生的電磁場(chǎng)強(qiáng)度隨時(shí)間的變化(利用傅立葉變換獲得頻域上幅度和相位的變化量),進(jìn)而得到樣品的信息。這樣的測(cè)量方法已經(jīng)成功地用于氣體和有機(jī)材料的測(cè)量。

  我們知道,太赫茲(THz)光具有一些獨(dú)特的性質(zhì)。大部分材料及活體組織對(duì)于THz光來(lái)說(shuō)都是半透明的并具備帶有其特征的“指紋譜”。此外,由于THz光譜還具有非離子化和輻射能量相對(duì)較低等特點(diǎn),因而它又作為一種非常安全的檢測(cè)技術(shù)方法而越來(lái)越受到重視。

4. 太赫茲成像(THz Imaging)
  太赫茲射線(xiàn)能夠深入到許多有機(jī)材料內(nèi)部而不傷害材料,這個(gè)類(lèi)似于X射線(xiàn)的特長(zhǎng)使太赫茲成像非常適合用來(lái)測(cè)量生物樣品。通過(guò)聚焦后的太赫茲光束來(lái)對(duì)樣品進(jìn)行光柵掃描,這套工具包就能輕易的實(shí)現(xiàn)太赫茲成像。

5. 太赫茲泵浦探針試驗(yàn)(Pump-Probe THz Experiments)
  而飛秒激光器的引入為研究超快過(guò)程的非平衡動(dòng)態(tài)力學(xué)提供了手段。在采用光泵浦探針技術(shù)的試驗(yàn)中,樣品一面被超短的強(qiáng)激光脈沖照射,激發(fā)出自由電信號(hào),同時(shí)一束相對(duì)較弱的泵浦信號(hào)光從另一面射入,這束THz波改變了樣品的光學(xué)性質(zhì)。與純粹的光學(xué)探針技術(shù)恰恰相反——研究發(fā)現(xiàn)THz泵浦脈沖在半導(dǎo)體的級(jí)帶上是非共振的,這就避免了自由電子動(dòng)力學(xué)領(lǐng)域試驗(yàn)中許多人工的假象干擾,可以放心地直接作為探針應(yīng)用于光泵浦-光學(xué)探針系統(tǒng)。

6. THz光譜應(yīng)用組件
  標(biāo)準(zhǔn)的成套工具包由:含光電導(dǎo)天線(xiàn)的THz發(fā)射和接收器、引導(dǎo)泵浦光路的光學(xué)組件、電機(jī)延遲線(xiàn)、給THz光路定向的光學(xué)鏡片、樣品臺(tái)、帶控制器的斬波器和鎖相放大器多部分組成。配置簡(jiǎn)單靈活可應(yīng)需更改,比如,把樣品臺(tái)安裝在X-Y電動(dòng)調(diào)整架上即轉(zhuǎn)換成成像實(shí)驗(yàn)用的裝置了。

7.THz 應(yīng)用相關(guān)元件

太赫茲發(fā)射器,太赫茲探測(cè)器,光學(xué)元器件

  THz發(fā)射和接收器均集成了低溫環(huán)境下生長(zhǎng)的GaAs晶體材料光電導(dǎo)天線(xiàn)(含微波傳輸帶)和一些THz透鏡,分別安置在兩個(gè)X-Y調(diào)整架當(dāng)中。電子遷移率和誘捕時(shí)間這兩個(gè)技術(shù)指標(biāo)分別決定了光電導(dǎo)天線(xiàn)在發(fā)射器和接收器上的表現(xiàn)。低溫環(huán)境生長(zhǎng)的GaAs(LTG-GaAs)是較適于太赫茲應(yīng)用的材料之一,因?yàn)樗袠O高的電子遷移率、較快的電信號(hào)捕獲時(shí)間、很高的擊穿電壓以及高抗性。另外,我們?cè)诘蜏丨h(huán)境生長(zhǎng)GaAs的過(guò)程中采用了一種特別的技術(shù),使得光電激發(fā)壽命獲得了一個(gè)遠(yuǎn)寬于正常的可控波譜范圍:從低于100fs 一直到100ps!除了光電導(dǎo)天線(xiàn)的幾何設(shè)計(jì),像THz透鏡組的參數(shù)的準(zhǔn)確選擇和低溫GaAs晶體外延法生長(zhǎng)過(guò)程選擇哪類(lèi)材料的附著層,這些都是非常關(guān)鍵的因素。我們希望在保留較佳的帶寬情況下,通過(guò)優(yōu)化還能輸出較高能量的THz輻射。所克服的技術(shù)難點(diǎn)也正是這套工具包的價(jià)值所在。

  就拿THz透鏡來(lái)說(shuō),這套THz發(fā)射和探測(cè)級(jí)所選配的透鏡,用了許多不同材料來(lái)滿(mǎn)足如此寬范圍的波長(zhǎng)的輻射,一般來(lái)說(shuō),像絕緣材料和硅質(zhì)都是比較常用的。鍍金的反射鏡則是保證THz“光束”準(zhǔn)直和聚焦的重要元件。



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上海瞬渺光電典型客戶(hù)(太赫茲THZ項(xiàng)目)

中國(guó)工程物理研究院

北京計(jì)量院

北京無(wú)線(xiàn)電計(jì)量測(cè)試研究所

中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所

清華大學(xué)

北京大學(xué)

中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所

中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所

上海技術(shù)物理所

西南科技大學(xué)

四川大學(xué)

成都光電所

深圳大學(xué)

長(zhǎng)春理工大學(xué)

上海理工大學(xué)

浙江大學(xué)

南開(kāi)大學(xué)

北京交通大學(xué)

中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)

深圳先進(jìn)技術(shù)研究院

東南大學(xué)太赫茲研究所

山東科技大學(xué)

廈門(mén)大學(xué)

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    太赫茲時(shí)域光譜儀  
    太赫茲時(shí)域光譜儀
    BATOP GmbH是一家創(chuàng)新型公司,從事的專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域包括:低溫分子束外延技術(shù),介質(zhì)濺射鍍膜,晶圓加工和芯片安裝技術(shù)。BATOP的一個(gè)主要產(chǎn)品系列是用于太赫茲發(fā)射和探測(cè)的太赫茲光電導(dǎo)天線(xiàn)(PCA)。BATOP不僅提供單帶隙天線(xiàn),還提供包括整合了微透鏡的高能大狹縫交叉天線(xiàn)陣列和整套的太赫茲光譜儀。
    太赫茲源(雪崩渡越時(shí)間二極管)  
    太赫茲源(雪崩渡越時(shí)間二極管)
    TeraSense系列太赫茲源(IMPATT diode,碰撞雪崩渡越時(shí)間二極管),是一種硅雙漂移二極管,過(guò)渡區(qū)域0.6um,安裝在銅散熱器上。雙偏移二極管的分層:重?fù)诫s(p +)層,適度摻雜(p-)層,適度摻雜(n-)層和重?fù)诫s(n +)層。(p +)和(n+)層允許歐姆電觸點(diǎn)接觸到外部電路。設(shè)備依靠負(fù)電阻產(chǎn)生和維持振蕩。
    太赫茲電光探測(cè)器  
    太赫茲電光探測(cè)器
    太赫茲光電探測(cè)器(EOD)用于記錄脈沖太赫茲(THz)輻射。它由集成光學(xué)器件以及內(nèi)置鎖定放大器組成。該探測(cè)器具有以下功能:信號(hào)調(diào)節(jié);光電探測(cè)器的自動(dòng)信號(hào)平衡微調(diào)。可以通過(guò)EOD隨附的專(zhuān)有軟件進(jìn)行機(jī)械延遲電路控制的功能。該設(shè)備的應(yīng)用領(lǐng)域包括時(shí)域光譜(TDS)。
    高萊探測(cè)器  
    高萊探測(cè)器
    高萊探測(cè)器是最有效的太赫茲探測(cè)設(shè)備之一,是一種經(jīng)典的非致冷、非選擇性探測(cè)器。這種探測(cè)器可以在室溫工作,在室溫下具有極好的靈敏度,在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有很平坦的光學(xué)響應(yīng),并且具有體積小、高靈敏度、高效率與寬光譜范圍等優(yōu)點(diǎn),廣泛地應(yīng)用在IR & THz輻射源和探測(cè)器的研究中。
    BWO太赫茲返波管  
    BWO太赫茲返波管
    QS1-370是我們的中檔信號(hào)源之一,其最大輸出頻率為370 GHz。 該系統(tǒng)可以與倍頻器結(jié)合使用,以達(dá)到1 THz以上的實(shí)用范圍。 它可以在300 GHz范圍內(nèi)提供比同系列其他任何太赫茲源更大的功率。
    太赫茲傳感器  
    太赫茲傳感器
    TeraPyro 太赫茲傳感器,帶有可移動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)透鏡,基于焦電子技術(shù) >從0.1到30 THz>脈沖操作(QCW)> 4mm2單像素
    太赫茲面陣探測(cè)器  
    太赫茲面陣探測(cè)器
    太赫茲面陣探測(cè)器 美國(guó)TERASENSE公司提供高快速響應(yīng)太赫茲面陣探測(cè)器,分辨率16×16,32×32,64×64可選。探測(cè)器采用GaAs單晶片設(shè)計(jì),體積緊湊小巧。探測(cè)單元響應(yīng)度偏差小于20%。可方便用于快速的太赫茲光斑檢測(cè)、無(wú)損檢測(cè)、醫(yī)學(xué)成像診斷等應(yīng)用中
    bolometer熱輻射計(jì)  
    bolometer熱輻射計(jì)
    bolometer對(duì)熱輻射非常敏感,主要用于10至5000μm(30THz至60GHz)之間的紅外光譜中。檢測(cè)器元件是一個(gè)非常敏感的熱敏電阻,它被冷卻到LHe溫度以降低熱本底。
    太赫茲面陣探測(cè)器  
    太赫茲面陣探測(cè)器
    太赫茲面陣探測(cè)器 美國(guó)TERASENSE公司提供高快速響應(yīng)太赫茲面陣探測(cè)器,分辨率16×16,32×32,64×64可選。探測(cè)器采用GaAs單晶片設(shè)計(jì),體積緊湊小巧。探測(cè)單元響應(yīng)度偏差小于20%。可方便用于快速的太赫茲光斑檢測(cè)、無(wú)損檢測(cè)、醫(yī)學(xué)成像診斷等應(yīng)用中
    THz絕對(duì)功率計(jì)TK-100  
    THz絕對(duì)功率計(jì)TK-100
    絕對(duì)功率/能量計(jì)n1、帶寬:30GHz~3THzn2、靈敏度:5uW 以下n3、NEP: 5??/Hz??n4、NEJ:1??n5、窗口有效面積直徑大于30mmn6、精度優(yōu)于10%
    太赫茲光電導(dǎo)天線(xiàn)  
    太赫茲光電導(dǎo)天線(xiàn)
    BATOP 專(zhuān)業(yè)提供太赫茲發(fā)射和探測(cè)的太赫茲光電導(dǎo)天線(xiàn)(PCA),激發(fā)波長(zhǎng)從 800nm 到 1550nm。 產(chǎn)品性質(zhì): 可作為太赫茲發(fā)射和探測(cè)天線(xiàn) 波長(zhǎng):800nm/1064nm/1550nm 定位準(zhǔn)直或聚焦非球面硅透鏡可選
    Batop 實(shí)驗(yàn)級(jí)太赫茲光譜儀THz TDS  
    Batop 實(shí)驗(yàn)級(jí)太赫茲光譜儀THz TDS
    BATOP GmbH是一家創(chuàng)新型公司,從事的專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域包括:低溫分子束外延技術(shù),介質(zhì)濺射鍍膜,晶圓加工和芯片安裝技術(shù)。BATOP的一個(gè)主要產(chǎn)品系列是用于太赫茲發(fā)射和探測(cè)的太赫茲光電導(dǎo)天線(xiàn)(PCA)。BATOP不僅提供單帶隙天線(xiàn),還包括整合了微透鏡的高能大狹縫交叉天線(xiàn)陣列和整套的太赫茲光譜儀。
    太赫茲分束鏡  
    太赫茲分束鏡
    單次分束鏡:用于發(fā)射光僅通過(guò)分束片一次的光學(xué)系統(tǒng) 多次分束鏡:用于邁克爾遜干涉儀的光路,波束多次通過(guò)分束片 材料:HRZF-Si,KBr 直徑:38.1~101.mm,方形可選 厚度: 3.5~10mm,可定制
    THz低通濾波器  
    THz低通濾波器
    THz Low Pass Filters-工作方式: -1000-20um(0.3-15 THz)范圍帶通; -可選中心波段0.3、0.5、1.0、3.0和10.0THz-材料:帶不同小孔的金屬薄片-帶通波段高透過(guò)率:60%-90%-阻隔波段低透過(guò)率:4%-可集成于電光組件和在低溫環(huán)境使用-高破壞閾值:65-100W/cm2-標(biāo)配帶Holder-尺寸: 截面:D=24/35/47mm,其他尺寸也可定制
    TeraKit-DODS太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)  
    TeraKit-DODS太赫茲時(shí)域光譜系統(tǒng)
    TeraKit-DODS提供靈活的實(shí)驗(yàn)室級(jí)的太赫茲光譜儀系統(tǒng),它有兩種配置:透射型和反射型。基于有機(jī)晶體,TeraKit-DODS可以運(yùn)用于不同的太赫茲頻率,系統(tǒng)包括延遲線(xiàn)、太赫茲發(fā)生器、太赫茲探測(cè)器、光學(xué)部件和電子部份。它可以和任何的飛秒激光器聯(lián)用。
    亞太赫茲成像相機(jī)  
    亞太赫茲成像相機(jī)
    Tera系列THz相機(jī)由許多小的THz探測(cè)器組成,探測(cè)器像元尺寸為1.5×1.5mm,能夠捕獲100-700GHz的太赫茲輻射,為被動(dòng)操作模式。在使用太赫茲相機(jī)時(shí)需要一個(gè)太赫茲輻射源激發(fā)目標(biāo)的太赫茲輻射,從而產(chǎn)生圖像。
    光電導(dǎo)天線(xiàn)  
    光電導(dǎo)天線(xiàn)
    BATOP不僅提供單帶隙天線(xiàn),還包括整合了微透鏡的高能大狹縫交叉天線(xiàn)陣列和整套的太赫茲光譜儀。 太赫茲光電導(dǎo)天線(xiàn)的激發(fā)波長(zhǎng)為800nm到1550nm之間。
    亞太赫茲波段成像相機(jī)  
    亞太赫茲波段成像相機(jī)
    相機(jī)探測(cè)器部分基于GaAs異質(zhì)結(jié)高效的載流子遷移率,利用傳統(tǒng)光刻蝕的方法制造。成像傳感器制做在一個(gè)單獨(dú)的晶圓上。整個(gè)過(guò)程確保了等離子體探測(cè)器各項(xiàng)參數(shù)的穩(wěn)定性和高的響應(yīng)度(像素-像素之間的響應(yīng)度偏離20%之內(nèi))。每個(gè)獨(dú)立的探測(cè)單元在室溫下的響應(yīng)度高達(dá)50KV/W,在10GHz-1THz之間的噪聲等效功率為1nW/Hz1/2。探測(cè)器的探測(cè)機(jī)制是基于在二維電子系統(tǒng)中入射太赫茲與等離子體振蕩的轉(zhuǎn)化過(guò)程。
    離軸拋物面鏡  
    離軸拋物面鏡
    離軸拋物面鏡:TYDEX鏡面的制造工藝和傳統(tǒng)工藝是不同的,它致力于為航空/防衛(wèi)應(yīng)用提供大批量的更廉價(jià)的鏡片。傳統(tǒng)的OAPs制造工藝是通過(guò)挖切磨制, 即從大的軸對(duì)稱(chēng)拋物面(母鏡)進(jìn)行挖切一部分下來(lái)進(jìn)行拋光。顯然,這種整體加工、分體割切成型的面鏡磨制方案耗時(shí)長(zhǎng),低產(chǎn)量是加工成本昂貴,同時(shí)在焦距和離軸距離的組合選擇上有很多制約。另一項(xiàng)傳統(tǒng)的方法是拋光盤(pán)技術(shù),主要缺點(diǎn)是材料局限性、表面平整度和加工精度受很大限制。
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