接觸電阻率和薄層電阻 TLM-SCAN+

接觸電阻率和薄層電阻 TLM-SCAN+
前金屬化的接觸電阻是對絲網(wǎng)印刷太陽能電池的總串聯(lián)電阻的重要貢獻。 具有合適測試結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移長度方法是將接觸電阻與其他串聯(lián)電阻效應(yīng)分開的最佳方法。 然而,接觸電阻可以在太陽能電池上顯著變化,因此需要在成品太陽能電池上以空間分辨率測量它的方法。 TLM-SCAN產(chǎn)生太陽能電池的接觸電阻率的映射,該太陽能電池用激光或切割鋸切割成條紋。
右側(cè)的映射顯示了分辨率和可重復(fù)性,因為它顯示了14次測量的相同條帶。
接觸電阻率測量儀
這款緊湊型儀器測量成品太陽能電池的接觸電阻率,手指線電阻,手指寬度和手指高度,或者測試結(jié)構(gòu)。
通過在所有軸上電動化,可以通過按一個按鈕來創(chuàng)建所有這些方法的地圖。
用于測量薄擴散層的薄層電阻和晶圓電阻率的四點探頭,使得TLM-SCAN 成為一種低成本,快速,高質(zhì)量的四點探針貼圖儀。
使操作更簡單的功能:
自動位置校正以獲得最佳接觸質(zhì)量
蓋子關(guān)閉時自動啟動
自動采樣編號
軟件探頭識別
精確的導(dǎo)航與歡樂棒和顯微鏡相機
通過點擊圖像來探測定位和重新測量單點
一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式
序列模式通過按一個按鈕來測量接觸電阻率和手指幾何圖形的映射

Contact resistivity and more
Contact resistivity and sheet resistance
The contact resistance of the front metallization is an important contribution to the total series resistance of screen-printed solar cells. The transfer length method with a suitable test structure is the best method to separate the contact resistance from other series resistance effects. However, the contact resistance may vary considerably over the solar cell so a method to measure it with spatial resolution on the finished solar cell is necessary. The TLM-SCAN creates mappings of the contact resistivity of a solar cell that is cut into stripes with a laser or a dicing saw.
The mapping on the right demonstrates the resolution and repeatabilty as it shows the same stripe measured 14 times.